氣體產品大致可以分為兩大類別, 即一般工業(yè)氣體和特種氣體。一般工業(yè)氣體是指經過空氣分離設備制造的普通級的氧氣和氮氣、經過焦爐氣分離或電解等方法制造出來的普通純度的其它種類氣體。自80年代1開始,我國的氣體工業(yè)迅速發(fā)展,各類純氣體、高純氣體、特種氣體、混合氣體、標準氣體、電子工業(yè)用氣體等相繼問世,其品種數(shù)目已與國外發(fā)達國家水平相近。隨著國產化的推進,部分種類的電子特種氣體慢慢形成規(guī)模效應,占據(jù)市場半壁江山。一些常規(guī)的特氣產品,中國的產能甚至可以滿足全球范圍內的需要,但需清醒的看到,從核心競爭力,質量管理,品牌效應方面來說,我們仍然處于低水平區(qū)間。






特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業(yè)中應用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20~30 種。工業(yè)上,把常溫常壓下呈氣態(tài)的產品統(tǒng)稱為氣體產品.氣體產品種類繁多,大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類.一般工業(yè)氣體產銷量大,但對純度要求不高.特種氣體產銷量雖小,但根據(jù)不同的用途。目前,國內共有特種氣體生產企業(yè)達150余家,多數(shù)企業(yè)生產規(guī)模較小。跨國企業(yè)已經在國內投資設立了眾多合資或獨資的氣體公司,占國內銷售氣體產品市場份額的70%左右。

特種氣體在太陽能電池中的應用:晶體硅電池片生產中的擴散工藝用 到 POCl3 和 O2,減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3,刻蝕工藝用到 CF4;特種氣體分類:高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術能達到的某個等級純 度的氣體,對于不同類別的氣體,純度指標不同,大多用于超大規(guī)模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領域;特種氣體的重要性:正是因為電子氣體在集成電路制造中的使用量大,應用范圍廣的特點。所以電子氣體直接決定了芯片制造的良率 與可靠性等等。所以電子氣體也被譽為集成電路制造中的“血液”。

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